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金刚石砂轮对硅块抛光的应用

1、目前现状

硅片车间的开方机由于进来的提速切割,操作人员在实际的工作中,只要稍有疏忽就会造成硅块的切割质量不好。主要分为:切割的硅块表面有锯痕;硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象;断线引起的局部硅块形状弯曲。目前车间的毛刷式的砂轮已经不能完全去除由于切割造成的锯痕;对于“鼓肚”问题的硅块,由于毛刷式的砂轮的抛光能力有限,不能把中间大的尺寸去除。此时急需一种具有更强研磨能力的砂轮。

2、实施方法

目前车间所使用的抛光机主要原理,依次通过粗砂轮、细砂轮对硅块的表面进行抛光。现在通过把抛光机的粗砂轮更换为金刚石砂轮,细砂轮使用毛刷式砂轮对硅块进行抛光。

试验使用的是金刚石树脂结合剂砂轮,天然和人工金刚石都可以用于磨削,金刚石是碳的一种超高硬度形态,因为它对铁有亲和性而形成快速磨损,结合剂选用树脂型结合剂,它有摩擦中的震动,有一定的阻尼作用。利用金刚石砂轮的较强的研磨能力,可以把开方机切割造成的一些硅块表面的问题如:切割的硅块表面有锯痕;硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象;断线引起的局部硅块形状弯曲,进行基本的抛光,再使用细砂轮对硅块的表面进行优化,可以取得更好的效果。

3、试验过程

在金刚石的粗砂抛光时,更应该给予充足的冷却水,保证水路畅通

保证砂轮前端盖的安装,使得水更均匀撒开到砂轮上面

确保机床研磨台车下的“V”型槽的精准性

抛光时的研磨速度5—10mm/s

4、试验数据统计